广州潽拓光电科技有限公司——3KGAgilent分子泵维修硬件升级

分子泵是涡轮分子泵、牵引分子泵和复合分子泵的统称，是一种非常常见的获得高真空和超高真空的设备。分子泵内部有高速旋转的转子，支撑转子平滑转动的轴承承担了很大的负荷，正确的使用和及时的保养，对分子泵轴承乃至整个分子泵的正常工作意义重大。

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许多设备在工作时都会产生磁场，比如，家用电冰箱的磁场强度约有10高斯（1mT），MRI 的磁场强度甚至会高达 3T；尽管可以采取屏蔽等措施，仍然可能会有外漏的杂散磁场，对工作在附近的分子泵产生不好的影响。

MACHINA中应用的真空产品

MACHINA 工作时需要稳定的真空环境，以避免高速粒子束和残留气体分子之间的任何相互作用，该项目设计团队选择了安捷伦的涡轮分子泵作为主泵。安捷伦 TwisTorr 系列涡轮分子泵轻巧紧凑，可以任意角度安装，而且其采用的 AFS 悬浮轴承技术可以补偿轻微的系统振动；对于一个紧凑便携的系统而言，这些特点至关重要。

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视频作者：广州潽拓光电科技有限公司

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有下面这些异常一定要尽早检修分子泵是高速旋转的机械，轴承故障可能会造成泵叶片打碎直接报废；而当轴承工作状态不良时，会有一系列的现象，如分子泵无法启动，运行噪音增大，温度或功率异常增加等，在排除外界环境和进排气压力过高等外界因素后，应尽快停泵，送到维修中心进行检修。

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涡轮分子泵也是一种机械式真空泵，通过高速旋转的多级涡轮转子叶片和静止叶片的组合进行抽气的，在分子流区域内对被抽气体产生很高的压缩比，从而获得所需要的真空性能。涡轮分子泵极限真空比扩散泵高，可达10^-8pa。正常工作时需要一定的前级真空度，其真空度高低视泵不同略有差异，一般在1-200Pa之间，可采用机械泵作为前级泵，高真空机组是由分子泵和机械泵组成的。由于涡轮分子泵的转速高，通常用中频电机带动，中频电源的频率在300-400Hz之间。涡轮分子泵一般采用水冷方式。

CombiNEG系列采用安捷伦科技（Agilent Technologies），StarCell离子泵抽气单元和赛斯(Saes Groups)的烧结型非蒸散型吸气剂（NEG）。安捷伦真空（原瓦里安真空）是离子泵，赛斯是NEG吸气剂泵的始创者。两家公司累计超过100年的真空经验、各自的技术和紧密的合作是这一革命性的产品问世的基础。

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与 704FS 配合工作的安捷伦新一代分子泵控制器，变被动保护为主动调整，可以根据不同的工艺条件，自动调整输出功率和转速，使泵在保证自身安全的同时，始终工作在一个达到一定的曲面上（3D），达到气载量和压缩比。同时因为避免了分子泵超负荷运行，可以延长其使用寿命。

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安捷伦 HLD 氦质谱检漏仪专为简便易用和优化性能而设计，其预置了 6 个不同的应用设置，通过简择，即可在不同应用间切换，对于大多数常见应用（喷氦、分流、背压法自动检漏等），直接选择相应的应用即可。另外，根据每个应用的特点，检漏仪在出厂时已经预置好了一些设置，并且每个应用可存储 3 组报警值，用户可以根据不同的产品修改报警值并分别保存。

安捷伦 HLD 系列检漏仪有一个好的大漏粗测模式，该模式采用的不是质谱偏转原理，因此不需要很好的真空，可以在高达 2 万帕的压力下检漏，这一点对于大型真空系统的粗检和复杂系统的排查性检漏特别实用。